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MITANI MICRONICS:ミタニマイクロニクス

用 語 集

当Webサイトでご紹介するコンテンツの専門用語やキーワードの解説です。
窒化アルミヒーター印刷やマスク製造技術に関する専門用語も、解説・ご紹介していますのでご利用ください。

■ オープニング

紗(メッシュ)を構成するワイヤ直径を線径、ワイヤとワイヤとの間の開口部寸法をオープニングと呼称する。

■ メッシュカウント

1インチにある線の数を表す。#325であれば1インチ(25.4mm)に325本のワイヤーがある。数値(#)が大きいほど線の数は多く細かくなる。

■ オープニング率

(オープニングの2乗)÷(線径+オープニングの2乗)【%】で算出される(すなわち、単位面積あたりの開口部面積の率となる)。インクがメッシュを通過する状況を考えた場合、紗の面積部分はインクの通過にとっては邪魔になるので、オープニング率が大きいほどインクが通過しやすいといえる。

■ 乳剤

PVA、酢ビ、アクリルモノマーで構成される紫外線硬化樹脂である。製版時にフォトマスクを介して紫外線を当てる事によって硬化させる。乳剤は水溶性であり、露光後に水現像することによってパターンが解像される。使用目的によって数種類の乳剤を使い分ける。乳剤の選定は、材質、解像性、露光感度、乳剤の膜厚や供給形態を基準にして行う。

■ モワレ(モアレ)

版を肉眼で遠目で見た時に見られる干渉縞のような模様を指す業界用語。モワレの原因として1.版がハレーションを起こしている。2.細線印刷時に選定した紗の線径が大きすぎる。メッシュ数が少なすぎる。3.細線印刷時にバイアス角度が適正ではないという場合に見られる。こういった製版を使用して印刷を行うと模様が転写されてしまい、製品不具合の一因となってしまう。

■ フラット加工

スクリーン表面(基板面)をフラットにするために施す処理。

■ OC加工

ペーストの抜け性、版離れを良くするために乳剤上に施す処理である。

■ A処理

耐水性、耐溶剤性を増すための硬膜処理。

■ 積算光量

単位面積当たりに受ける照射エネルギーで,その表面に到達する光量子(フォトン)の総量である。先の照度と時間との積でもある。J/m²またはJ/cm²で表される。

■ メッシュ

ポリエステルやステンレスなどの糸で製織した網状のもの。糸の材質や太さ、目の大きさ、製織方法で構成される。使用目的によって糸の材質や目の大きさを選定する。

■ ハレーション

光の乱反射により不要な乳剤部まで感光する現象のこと。

■ マスクレス露光機

CADで設計したパターンをフォトマスクを用いないで直接露光できる装置。

■ MFTメッシュ

MITANIオリジナルのメッシュ。位置精度に優れ、連続的に印刷しても印刷時のずれが少ないのが特徴。線径も通常のメッシュと比べて細いため、解像性や抜け性にも有利。

■ CAL加工

圧延加工によりメッシュの交点を潰し、紗厚を薄くする加工。印刷位置精度向上が見込める。

■ スクリーンマスク

枠、メッシュ、乳剤で構成され、乳剤表面上に任意のパターンが形成されたもの。孔版の一種。

■ マット処理

乳剤表面をマット状にし、基板表面とワークの接触面積を少なくすることで静電気の発生を少なくする。

■ FDコート

スクリーンマスクへ超撥水、撥油性を有するフッ素をコーティングすること。これにより得られる効果としては、吐出量の増加や滲みの防止。

■ ファインライン印刷

高精細印刷。当社の高精細印刷用乳剤は、M110を推奨している。またメッシュに関してはメッシュの目が細かいCAL640やCAL500を推奨。

■ 平織

縦糸と横糸を交互に編む織り方。

■ 高アスペクト印刷

パターンの線幅と総厚(線径と乳厚)の比が高いスクリーン版を用いた印刷。総厚の厚みが厚くなれば(高アスペクト)なるほど印刷基板とメッシュが離れるため、印刷厚みのバラつきが少なくなる。

■ LTCC

低温同時焼成セラミックス(Low_Temperature_Co-fired_Ceramic)は、電子材料に使われるセラミックスの一種。セラミックス担体構造と導電性抵抗、誘電体材料を1000℃未満の窯で同時に焼結することからこう呼ばれている。

■ 位置精度

スクリーンマスク業界での位置精度はスクリーンマスク上や印刷基板上のパターン位置精度のことで、設計値(狙い値)に近ければ近いほど高位置精度であると定義される。MITANIでは、スクリーンマスク上の仕上がりを設計値(狙い値)から±5umの精度で入れることができ、業界トップの位置精度を保証。

■ 重ね印刷・嵩ね印刷

複数の膜を1枚の基板に製膜し、製品になるもの。

■ 積層印刷

製膜済みの複数の基板を重ね合わせ、製品になるもの。

■ コンタクト印刷

GAPを0にした印刷。印刷時の版伸びを0にできるため、印刷物の位置精度を良好な状態で仕上げることができる。

■ 高精細

細い線幅のこと。MITANIでは30um以下程度を定義する。

■ 2重露光版

マスクレス露光機により線幅の異なるパターンを露光することで開口の形状を段差の形状にした版。メッシュの交点へも回りこみが期待できるため、吐出量UPが期待できる。特許取得済み。特許第6956997号

■ マスクレス露光版

マスクレス露光機により露光したスクリーンマスク。高位置精度に優れ、露光の仕方・作製方法を変えることで特殊な形状を持たせることが可能。

■ テーパー

スクリーンマスク上の基板が接する側よりもスキージが走る側の方が狭い形状のこと。通常露光時はテーパー型断面形状。

■ 逆テーパー

スクリーンマスク上の基板が接する側よりもスキージが走る側の方が広い形状のこと。マスクレス露光による露光時は逆テーパー型断面形状。

■ 段掘り

スクリーンマスク上のエッジ部分に段差を設けた形状のこと。エッジ部に段掘り形状を設けることでエッジ部分に印圧が集中し、インクが滲みだすのを防ぐ。また、印刷圧も低くできるため版の寿命へも効果がある。

■ 部品ニゲ

重ね印刷をする際に部品を潰さないように、あえてスクリーンマスク上に凹みを作り印刷物に影響を与えないようにする構造のこと。3Dスクリーン作製時に用いられる言葉。

■ 滲み

印刷したい部分とは異なる部分へわずかに広がること。直線性がなくなり、波打ったような印刷形状になることが多い。滲み解消には、段掘り版やFDコートなどがお勧め。

■ 3Dスクリーン

スクリーン上の乳剤に立体的な構造を形成した版。部品ニゲや段掘り・アクセスルートの総称。組み合わせは自由自在。

■ 鏡面処理

平面平滑性を向上させる。