世界最高水準のトータルピッチ精度

プロセス改善によって、□320サイズのTP精度を±7.5〜±5μmに向上（□550サイズ、最大550×650mmまで対応可能）。世界最高水準のTP精度により重ね印刷時の歩留りを改善しています。

スクリーンマスク（左）と実際の印刷基板（右）の位置座標との比較

当社独自技術で乳厚精度を大幅アップ

MITANI製のフィルム乳剤を使用することで、従来の乳剤コーティング法よりも、版内の乳厚バラツキの大幅低減を実現。また、当社開発技術により、フィルム乳剤の多品種小ロット化にも成功しました。様々なスクリーンマスクに適用可能となっております。

一般的な乳厚精度は、５～10μｍ間隔ですが、MITANI製のフィルム乳剤は最小1μm間隔が可能です。
（左はロールの状態、右はシート状にカットしたもの）

表面凹凸制御で帯電防止性能を追加

表面の微細凹凸を制御することにより、印刷時の帯電による印刷形状不良を低減することに成功しました。また、帯電防止性能とともに基板と版の版離れ性を良好にします。

帯電防止スクリーンマスクは、鏡面仕上げ（左）とマット面仕上げ（右）の2タイプから選択可能

メンテナンス性や印刷の安定性が向上

表面に撥水・撥油性を有する素材をコーティングすることが可能です。撥水・撥油性向上により、「スクリーンマスクの洗浄が容易に」「印刷時の滲みが改善」などの効果が期待されます。

左が未処理、右が撥水・撥油性コートを施したもの。印刷時のにじみがなく、ラインが明瞭化

フォトマスクを超える線幅・位置精度

フォトマスクが不要で、高い線幅・位置精度を実現し、特殊形状にも対応できる画期的なテクノロジーがマスクレス露光です。アナログ半導体だけではなく、デジタル半導体に必要な高度な仕様要求にお応えできるハイスペックを誇ります。しかも圧倒的に短納期というメリットを持ちます。

マスクレス露光スクリーンマスクの3つの特長（上）。下は、走査電子顕微鏡（SEM）の拡大写真。
従来のスクリーンマスクでは難しかった、3次元の立体構造まで表現が可能

高耐溶剤性

当社の既存乳剤の中で、ほぼ全ての溶剤に対して優位性があります。

高解像性

20μmの極細線はもちろん50～100μmのライン解像性についても高いパフォーマンスを発揮します。