For Beginners

マスク手配が初めてのお客様へ

マスク依頼の経験がないビギナーでも安心‼

マスクづくりのプロエンジニアがハンズオンサポート

ビギナーでも「だから安心」、
マスク製作のプロスタッフが全面サポート

「マスク製作のいろは」を懇切丁寧にアドバイス

「マスクは、難解でとかく難しいもの……」では、決してありません！　新規事業への参加や、部署異動で「経験がないのにマスク調達の担当になった」というお客様でも、MITANIは、「ハンズオン（手取り足取り）」でフルサポートします。
経験豊富なベテラン・エンジニアがお客様の専任となって、要求性能や用途などをヒアリングし、製品仕様の選定から納品、取り扱い方法にいたるまで、わかりやすく説明させていただきます。
もちろん、ご発注前のご質問やご相談についても承りますので、お気軽にお問い合わせください。

プロスタッフがマスク製作の全工程をフルサポート!!

［工場見学］

工場見学で知るフォトマスク製造フロー

MITANIでは、「1.フォトマスク」「2.スクリーンマスク」「3.メタルマスク」の主に3つのマスク製品を扱っています。お客様と製品についての充分な打ち合わせと、ご説明の上で、各種仕様や納期、製作コスト、納品条件などのご要望に合ったマスク製品をご提案。ここでは、フォトマスク（クロムマスク）とスクリーンマスク製作を例として当社の工場と生産工程をご説明します。

Step 1

CADデータ作製・編集

ご支給いただいた図面よりパターンを作製、もしくはCADデータの編集を行ない、描画用データを描画装置へ出力します。
Gerber RS-274D/274X、DXF、DWG、GDSⅡ、ODB++などの業界標準形式をサポートするだけでなく、各種画像データなどにも対応します。

各種マーク類などの追加やパターンの面付け、パターン補正なども、お気軽にご相談ください。

Step 2

マスク描画

編集済みデータはデータコンバージョンを行ない、描画用データへ変換後、描画が開始されます。
最新の描画装置を完備。フォトマスクのサイズや要求精度など、様々な条件に応じて最適な装置や描画モードを選べるため、お客様の様々な要望に対応可能です。

Step 3

現像・エッチング

描画が完了したマスクに現像・エッチングを行ないます。
現像・エッチングは多くの経験とノウハウがものをいう工程です。
当社は蓄積した職人の技と豊富な実績データを元に、その技術やノウハウを自動化することに成功。安定的かつ確実なプロセスを実現しています。

最新の装置を揃えるだけではなく、機械の性能をフルに引き出す技術ノウハウこそ最大の強みです。

Step 4

欠陥検査・測長検査

現像・エッチング後のマスクを検査します。高精度座標測定機によるパターンの測定と、自動外観検査装置でデータ比較検査による欠陥検査を実施。寸法精度と欠陥規格が仕様要求を満たしていることを保証します。

Step 5

仕上げ・洗浄

検査工程を終えると最終洗浄を行って、製品は完成です。高い撥水性と耐久性を持つ「防汚コート」や、投影式露光機での歩留りを向上させる「ペリクル加工」などをお選びいただいた場合は、洗浄後にそれらの処理を行ないます。

マスクサイズに応じて洗浄機を完備。防汚コートやペリクル加工のほかにも、ガラス加工なども承ります。

Step 6

検品・梱包

検品に合格し、全ての工程を終えたフォトマスクは、クリーンルーム内で清浄な状態を保持したまま、マスクケースに封入・梱包し、出荷されます。

Step１〜6まで、
お客様のご希望に合わせた期間
でマスク製造・納品が可能です

［工場見学］

工場見学で知るスクリーンマスク製造フロー

スクリーンマスクは、印刷したいパターンの精細さや印刷後の厚み、使用するインク等の特性、印刷条件（使用するスキージ、印圧、スピード、印刷対象物に対する版のセット方法……等々）など、無数に組み合わされる様々な条件で最適な仕様が異なります。
「こんな印刷をしたい」｢こんなことに困っている」などお客様の要望を伺って、十分な打ち合わせのもとに、ベテランのエンジニアがお客様の希望に沿ったスクリーンマスクの仕様選定をサポートします。